بررسي اثر پايداري دماي زيرلايه بر كيفيت لايه هاي روي اكسيد در روش لايه نشاني ليزري

The effects of stable substrate temperature on the quality of ZnO films prepared by pulsed laser deposition

روي اكسيد ( )ZnOيكي از پركاربردترين اكسيدهاي فلزي نيمرساناست كه به دليل داشتن ويژگي هاي منحصر به فرد،كاربرد فراواني در ساخ توسايل نوري دارد. ويژگي لايه هاي تهيه شده از اين ماده به صورت مستقيم افزون بر شرايط پرتودهي، به شرايط لايه نشاني آن نيز بستگي دارد. در اين مقاله، با هدف بررسي ثبات شرايط ترموديناميكي بر كيفيت انباشت لايه هاي ZnOبه روش لايه نشاني ليزر پالسي، مشخصه هاي حجم و فشار را در حين لايه نشاني ثابت در نظر گرفتيم و با سرد شدن تدريجي زيرلايه، عامل دما را به عنوان عامل موثر در تغيير شرايط ترموديناميكي بررسي كرديم. نتايج بدست آمده از بررسي طيف جذب مرئي- فرابنفش و تصاوير ميكروسكوپي و SEMنمونه ها حاكي از آن است كه كيفيت لايه ها در شرايط ترموديناميكي پايدار به صورت موثري بهبود مي يابد

Zinc oxide (ZnO) is one of the most widely used semiconductor metal oxides with extensive applications in the manufacture of optical instruments do to its unique properties. The specificity of the films prepared by the use of this material depends directly on its deposition conditions. In this work, during the preparation of ZnO films by the pulsed laser deposition method, we fixed the volume and pressure parameters and considered the temperature factor as a varied factor by cooling down the substrate temperature to investigate the effect of thermodynamic parameters. The results of UV-visible absorption spectroscopy, microscopic and SEM images of the samples indicate that the quality of the films improves effectively under stable thermodynamic conditions.