تاثير دما بر روي خواص نوري و توپوگرافي لايه‌هاي نازك ZrO2 تهيه شده به روش كند و پاش مغناطيسي بسامد راديويي RF ‏

در اين مقاله لايۀ نازك ZrO2با استفاده از روش كند و پاش‏ مغناطيسي RF روي زيرلايه از جنس شيشه رشد داده شدند. در سه آزمايش جداگانه، سه نمونه لايۀ ZrO2در دماهاي متفاوت تهيه شدند. سه دماي 25 درجۀ سانتي‌گراد (دماي آزمايشگاه)، دماي 150 درجۀ سانتي‌گراد و دماي 250 درجۀ سانتي‌گراد  به ترتيب براي سه نمونه انتخاب شدند. به جز دما پارامترهاي ديگر نظير فشار، آهنگ رشد لايه، فاصلۀ زيرلايه تا هدف و بازۀ زماني لايه‌نشاني براي هر سه نمونه يكسان بودند. خصوصيات اپتيكي و ريخت‌شناسي نمونه ها مورد بررسي قرار گرفتند. ريخت‌شناسي‏ نمونه ها به وسيلۀ تصاوير ميكروسكوپ نيروي اتمي  AFM و ميزان شدت عبور نور با استفاده ازدستگاه طيف سنج نوري انجام گرفت. همچنين ثابت هاي اپتيكي لايه ها با استفاده از طيف عبور آنها محاسبه شدند. نتايج به دست آمده نشان مي دهند اثر دما به خصوص بر ويژگي هاي اپتيكي  لايه ها مشهود است. با افزايش دما از دماي محيط آزمايشگاه تا دماي250 درجۀ سانتي‌گراد،  ضريب شكست از n=2/11 تا n=2/18 تغيير مي كند. افزون بر اين، افزايش دما باعث افزايش جذب لايه مي شود ريخت‌شناسي لايه ها نيز با دما به طور نسبتا محسوسي تغيير مي كنند. متوسط زبري هر سه نمونه كمتر از نيم نانومتر است.