نوسانگر دوبانده تنظيم‌پذير با استفاده از تكنولوژي MEMS

Dual-Band and Adjustable HMSIW Resonator Using MEMS Technology

در اين مقاله يكي از كاربردهاي تكنولوژي MEMS در حوزه سيستم‌هاي مخابراتي بيان مي‌گردد. براي اولين بار با استفاده از يك خازن متغير MEMS در نوسانگر CSRR يك روش جديد براي تنظيم‌پذيري و چندبانده‌كردن نوسانگرهاي مخابراتي به صورت مستقل و همزمان ارايه مي‌شود. علاوه بر اين قابليت، به منظور كاهش نويزپذيري ناشي از اتصالات غيرمجتمع و نيز با اهداف كاهش مساحت، تلفات و همچنين به منظور يكپارچه‌سازي با المان MEMS، نوسانگر CSRR بر روي يك خط Half mode substrate integrated waveguide (HMSIW) با تكنولوژي ساخت مدارات مجتمع پياده‌سازي مي‌گردد. بعلاوه در اين مقاله به كمك نرم افزار HFSS رفتار فركانسي ساختار شبيه‌سازي مغناطيسي شده است. نتايج به دست آمده بيانگر اين موضوع است كه افت عبوري ساختارهاي ارايه شده كمتر از dB 1 و تلفات برگشتي بيشتر از dB 15 ميباشد، همچنين محدوده فركانس نوسان نوسانگر ارايه شده در باند S و با رفتار فركانسي مشابه و قابل تطبيق با ساختارهاي برد مدار چاپي است. در اين شرايط، مساحت اين ساختار با انتخاب زيرلايه مناسب براي مجتمع‌سازي تا پنج برابر نسبت به ساختارهاي مرسوم كمتر شده است. فرآيند ساخت پيشنهادي براي ساختار دوبانده تنظيم‌پذير نيز مبتني بر ادوات و تكنولوژي ساخت مدارات مجتمع موجود ميباشد.

In this paper, one of the applications of MEMS technology in the field of telecommunication systems is introduced. For the first time, by using a variable MEMS capacitor in the CSRR resonator, a new method for adjusting and multi-banding telecommunication resonators is provided independently and simultaneously. In addition, the CSRR resonator is implemented on a HMSIW line and fabricated with the integrated circuit fabrication technology in order to reduce the noise caused by incomplete connection as well as area and loss and to integrate with the MEMS structure. Also, in this paper, the frequency behavior of structures was investigated by magnetic simulation with HFSS software. The results indicate that the transmission loss of the proposed structures is less than 1 dB and the return loss is greater than 15 dB. The proposed resonator works in the S-band frequency with the same frequency behavior as PCB board while its area is reduced by five times compared to the conventional structure by choosing the appropriate substrate for the integration. The proposed fabrication process for the adjustable and dual-band structure is presented which is based on existing integrated circuit technology.