عنوان مقاله :
ﺗﺎﺛﯿﺮ ﻣﻘﺎدﯾﺮ وﻟﺘﺎژ ﺑﺎﯾﺎس ﺑﺮ روي ﭘﻮﺷﺶ اﮐﺴﯿﺪ آﻟﻮﻣﯿﻨﯿﻮم ﺑﻪ روش ﺗﺒﺨﯿﺮ واﮐﻨﺸﯽ ﻓﻌﺎل ﺷﺪه ﺑﺮ روي ﻓﻮﻻد اﺑﺰار T4
عنوان به زبان ديگر :
No Title
پديد آورندگان :
ﭘﻮﻻدوﻧﺪ، اﯾﻤﺎن ﺷﺮﮐﺖ ﻣﻬﻨﺪﺳﯿﻦ ﻣﺸﺎور ﻣﻮﻧﻨﮑﻮ اﯾﺮان , ﺗﻠﺨﺎﺑﯽ، ﻋﻠﯽ ﺷﺮﮐﺖ ﻣﻬﻨﺪﺳﯿﻦ ﻣﺸﺎور ﻣﻮﻧﻨﮑﻮ اﯾﺮان , اﺳﻤﺎﻋﯿﻠﯽ، ﻋﻠﯿﺮﺿﺎ ﺷﺮﮐﺖ ﻣﻬﻨﺪﺳﯿﻦ ﻣﺸﺎور ﻣﻮﻧﻨﮑﻮ اﯾﺮان
كليدواژه :
فولاد ابزار T4 , فرآيند تبخير واكنشي فعال شده , ولتاژ باياس , آلومينا
چكيده فارسي :
پوشش اكسيد آلومينيوم (آلومينا) بدليل دارا بودن خواص متنوع مانند سختي بالا، مقاومت به خوردگي و سايش و داشتن خواص نوري خوب بطور گسترده اي در زمينه هاي مختلف بخصوص صنايع الكترونيكي و تزييني مورد استفاده قرار گرفته است. در اين تحقيق هدف ايجاد پوشش آلومينا بر روي فولاد ابزار T4 بوسيله فرآيند تبخير واكنشي فعال شده و سپس بررسي مقادير ولتاژ باياس روي پوشش مي باشد. بدين منظور نمونه ها در محيط پلاسما تحت زمان اكسيژن دهي 45 دقيقه، دماي زيرلايه С 800 و مقادير ولتاژ باياس0، 50 و 100 ولت توسط فرآيند تبخير واكنشي فعال شده پوشش داده شدند. در نهايت جهت بررسي ساختار كريستالي توسط آناليز XRD، ريزساختار و مورفولوژي لايه تشكيل شده توسط آناليز SEM، جهت بررسي زبري پوشش از آناليز AFM و همچنين جهت بررسي سختي سنجي پوشش از روش سختي سنجي ويكرز مورد استفاده قرار گرفت. نتايج نشان داد كه هر چه ولتاژ باياس زيرلايه بيشترباشد زبري پوشش بيشتر مي شود. همچنين نمونه هايي كه باردار شده اند (Biased) سختي بالاتري نسبت به نمونه هايي كه باردار نشده اندرا دارا مي باشند كه اين مطلب مي تواند ناشي از متراكم تر شدن لايه ي تشكيل شده به علت جذب بيشتر يون هاي اكسيژن موجود در محيط پلاسما باشد.
چكيده لاتين :
No abstract
عنوان نشريه :
نخبگان علوم و مهندسي
