بررسي اثر ولتاژ باياس بر مشخصه‌هاي ساختاري و مكانيكي لايه نازك كربن شبه الماس اعمال شده توسط فرايند رسوب‌دهي پرتو يوني

در اين پژوهش اثر ولتاژ باياس بر تغييرات ساختاري لايه نازك كربن شبه الماس  ايجاد شده توسط فرايند رسوب دهي پرتو يوني مورد بررسي قرار گرفته است. براي اين منظور، پارامتر ولتاژ باياس در مقادير V0، V50- ، V100- و V150- روي زيرلايه آلياژ آلومينيوم AA5083  در نظر گرفته شد. جهت ارزيابي تغييرات ساختاري از طيف سنجي رامان استفاده شد. همچنين جهت تاثير ولتاژ باياس بر ضخامت و زبري سطح پوشش هاي اعمالي، از ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني (FESEM) نيز استفاده گرديد. سختي و مدول الاستيك توسط آزمون نانوسختي سنجي اندازه گيري شد. نتايج آناليز رامان نشان دهنده بيش ترين ميزان پيوندهاي sp3 در لايه نازك كربن شبه الماس در ولتاژ باياس V50- بود و با افزايش ولتاژ باياس، مقدار پيوندهاي  sp3 كاهش پيدا كرد.  نتايج آناليز AFM گوياي كم ترين ميزان زبري سطح لايه (nm 10) در ولتاژ باياس V50- بود.  با توجه به اين كه ميزان پيوندهاي sp3 در ولتاژ باياس V50- در حداكثر مقدار خود قرار داشت، سختي در اين مقدار ولتاژ باياس نيز نسبت به ولتاژهاي ديگر بالاتر و برابر GPa 14.1بود.