بررسي و مطالعه اثر ترابردي بر ناهمواري سطح تانتالوم با استفاده از كاشت يون پرانرژي آرگون

در مطالعه حاضر، اثر ناهمواري فصول مشتركي كه در اثر كاشت يوني بر روي سطوح پايه تانتالوم توليد شده اند بررسي شده است. يون هاي آرگون با انرژي   30 كيلو الكترون  ولت و در دزهاي1017×1 تا و 1017×10 (يون بر سانتي متر مربع) استفاده شده است. ميكروسكوپ نيروي اتمي براي توصيف ريخت شناسي سطح  استفاده شده است . تاثير ناهمواري لايه هاي نازك توليد شده از طريق كاشت يوني، هدف از تحقيق ميزان احتمال انتقال الكتروني در تانتالوم است. با بمباران يون آرگون تغيير قابل توجهي در  نمونه ها رخ مي دهد از جمله ناهمواري، اندازه دانه، توزيع آن براي نمونه كاشته نشده و نمونه هاي كاشته شده .سهم اجزاي پراكنده احتمال انتقال نمونه‌هايي كه با دزهاي پايين‌تر يون كاشته شده‌اند، غالب‌تر از موارد كاشته‌شده توسط دزهاي بزرگ‌تر است. همچنين بر اساس نتايج با افزايش دز يوني، چگالي جريان لايه هاي نازك افزايش مي يابد. يكي از اثرات اصلي ناهمواري، كاهش احتمال عبور  است. نتايج نشان مي دهد كه ميزان پراكندگي به واسطه فصول مشترك ناهموار توليد شده با كاشت يون آرگون بيشتر است. به علاوه محاسبات چگالي جريان نتايج مذكور را تاييد نموده و ميزان چگالي جريان مولفه هاي پراكنده شده فصول مشترك ناهموار توليد شده با كاشت يون كمتر است.