بررسي تحولات ساختاري لايه نازك كربن شبه‌الماس ايجاد شده توسط فنّاوري رسوب‌دهي پرتو يوني تحت تاثير دماي زيرلايه

دماي زيرلايه نقش مهمي در تحرك گونه هاي كربني و سازوكار رشد و تشكيل لايه كربن آمورف با مشخصه شبه الماسه دارد. ساختار كربن آمورف تحت تأثير دماي زيرلايه مي تواند به سمت ساختار شبه الماسه و شبه گرافيته تغيير كند. از اين رو در پژوهش حاضر، تغييرات ساختاري پوشش كربن شبه الماس با تغيير دماي زيرلايه توسط فرايند رسوب دهي پرتو يوني مورد بررسي قرار گرفت. براي اين منظور، پارامتر دماي زيرلايه جهت لايه نشاني پوشش كربن شبه الماس، مقادير 80، 110 و 140 درجه سلسيوس در نظر گرفته شد. جهت ارزيابي ساختار و تركيب شيميايي پوشش هاي ايجادشده تحت تأثير دماي زيرلايه، از آناليزهاي طيف سنجي رامان و فوتوالكترون پرتوي ايكس (XPS) و براي ارزيابي ضخامت و زبري سطح پوشش هاي اعمالي، از ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني (FESEM) و نيروي اتمي (AFM) استفاده شد. مطابق با نتايج، كمترين مقدار زبري سطح پوشش كربن شبه الماس، در دماي زيرلايه 110 درجه سلسيوس مشاهده شد. همچنين كمترين مقدار ID/IG و بيشترين ميزان پيوند sp3، در دماي زيرلايه 110 درجه سلسيوس بدست آمد.