ساختار متعامد چهار سيمي براي اندازه گيري دقيق سرعت و جهت فلوي سيال و باد با استفاده از ميكرو ماشينكاري سيليكان روي غشاء نيتريد سيليكان

حسگرهاي ميكرو الكترومكانيكي حرارتي يكي از دقيقترين و مهترين ابزارها براي تشخيص جهت و شدت يك سيال و موج آكوستيكي به حساب مي آيند. تشخيص جهت و سرعت باد و هر سيالي در رنجهاي مختلف كاربردهاي مختلف از جمله هواشناسي، نيروگاه هاي بادي، اندازه گيري فلوي گاز در كنتورهاي هوشمند شهري و گاز ورودي به نيروگاه هاي گازي، دارد. در اين مقاله يك حسگر براي اندازه گيري همزمان سرعت و جهت سيال طراحي و ساخته شده است. از نرم افزار كامسول براي شبيه سازي و طراحي استفاده شده است. براي افزايش حساسيت و كاهش انتقال حرارت ساختار با بدنه حسگر، كل المان حسگري روي يك غشاء سيليكاني ساخته شده است.  براي تشخيص جهت از يك ساختار چهار سيمي متعامد استفاده شده است كه قابليت اندازه گيري جهت را تا 5 درجه فراهم مي كند. براي مشخصه يابي اين حسگر يك ست آپ آزمايشگاهي طراحي و ساخته شد و حسگر تا سرعت هاي 5 متر بر ثانيه كه بازه فلومترهاي صنعتي، بادهاي ملايم و كنتورهاي گازهاي شهري است مورد آزمايش قرار گرفت. با تغيير فاصله سيمها اين حسگر قادر است تا سرعت هاي 30 متر بر ثانيه را اندازه گيري كند.