تاثير ضخامت بر ويژگي هاي ساختاري، اپتيكي و الكتريكي لايه هاي نازك اكسيدروي آلايش يافته دوگانه (ZnO: Cu, Al)

لايه هاي نازك اكسيدروي (ZnO) آلايش يافته با آلومنيوم و مس (CAZO) توسط كندوپاش مغناطيسي جريان مستقيم (DC) تهيه شد. ويژگي‌هاي ساختاري، اپتيكي و الكتريكي لايه هاي نازك آلايش يافته دوگانه با استفاده از روش هاي مشخصه يابي پراش اشعه ايكس(XRD) ، ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM)، طيف سنج نوري (Spectrophotometer) و پراكندگي بازگشتي رادرفورد (RMS) مورد بررسي قرار گرفتند. لايه هاي نازك با ضخامت هاي مختلف ساختاري آمورف داشتند. نمودار توزيع ذرات نشان داد كه با افزايش ضخامت، اندازه نانوذرات از 10 نانومتر به 25 نانومتر رسيده و بازه تغييرات اندازه ذرات نيز افزايش يافته است.انرژي باندگپ با افزايش ضخامت كاهش يافته اما انرژي اوربچ افزايش يافته است. لايه CAZO با ضخامت 50 نانومتر انرژي فعالسازي كمتر و غلظت حامل هاي دهنده بيشتري داشتند اما با افزايش ضخامت، غلظت اين نوع حامل ها (نوع n) كاهش مي يابد، زيرا رسانش در لايه ها كمتر شده و مقاومت در لايه هاي CAZO با ضخامت 150 نانومتر افزايش يافته است.