بررسي تأثير نوع يون بر خواص انتقال و ترابردي با كاشت يون در تانتالوم

در اين تحقيق  بر روي سطوح تانتالوم توسط يون نيتروژن و آرگون با چگالي سطحي يوني   تا  (يون بر سانتي متر مربع) فرايند كاشت انجام شده است. فرايند كاشت يوني منجر به تغيير ريخت شناسي سطوح مي‌شود و تمامي سطوح ناشي از اين فرايند ناهموار هستند. اين سطوح ناهموار به عنوان فصل مشترك در ساختارهاي چندلايه‌اي مورد استفاده قرار گرفته و بر خواص ترابردي اين ساختارها اثر مي گذارند. براي مطالعۀ ريخت‌شناسي سطوح لايه‌هاي نازك كاشته شده يوني، از تحليل ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) استفاده شده است. فرايند كاشت يوني منجر به تغيير ريخت شناسي سطوح مي‌شود و تمامي سطوح ناشي از اين فرايند ناهموار هستند. اين سطوح ناهموار به عنوان فصل مشترك در لايۀ كاشته شده  مورد استفاده قرار گرفته و بر خواص ترابردي اين ساختارها اثر مي گذارند.  نتايج نشان مي‌دهد كه رابط‌هايي كه با كاشت يون آرگون توليد شده‌اند نسبت به يون نيتروژن تغييرات بيشتري دارد. همچنين نسبت قله ها به دره در دو مورد كاهش مي‌يابد.. علاوه بر اين، با افزايش چگالي سطحي يوني نيتروژن، چگالي جريان به عنوان تابعي از ولتاژ كاهش يافته است.