اثر دماي بستر بر لايه‌‌هاي نازك اكسيد موليبدن تهيه شده به روش افشانه گرمايي در ديود

در اين پژوهش، ديودها با لايه نشاني لايه نازك اكسيد موليبدن بر بستر سيليكون آلايش شده نوع p با هدف بررسي اثر دماي بستر بر ويژگي ديود ساخته شدند. به اين منظور، لايه‌هاي نازك اكسيد موليبدن در بسترهاي با دماي 350، 400، 450 و  oC 500 به روش افشانه گرمايي لايه نشاني شدند. ويژگي هاي ساختاري و نوري لايه هاي نازك بررسي گرديد. آنها ماهيتي بسبلوري با ساختار راست گوشي و قله هاي پراشي مربوط به صفحه هاي (020)، (040) و (060) را نشان مي دهند كه قله ارجح در همه نمونه ها (040) است. ريختار سطح نمونه ها بدون ترك و داراي دانه بندي مستطيل شكل با اندازه دانه هاي در گستره 110 تا 210 نانومتر است. همچنين زبري متوسط سطح آنها در گستره 157 تا 167 نانومتر اندازه گيري شد. گاف نوري نمونه ها در گستره 84/2 تا eV 95/2 برآورد شد. نمودار ولتاژ – جريان نمونه ها رفتار ديودي آنها را نشان داد. ديود ساخته شده در دماي بستر oC400 داراي كمترين ولتاژ آستانه است.