تجزيه و تحليل المان محدود پلاسماي گاز آرگون توليد شده به روش پلاسماي جفت شده القايي با توان ورودي، موقعيت سيم پيچ و ضخامت دي الكتريك متغير

پلاسماي جفت شده القايي به طور گسترده در كاربردهايي مانند پردازش مواد و ساخت ادوات ميكروالكترونيك استفاده مي شود. با اين حال، خواص الكترومغناطيسي آنها به طور كامل بررسي نشده است. بنابراين، ما شبيه‌سازي‌هاي المان محدود (2 بعدي)، وابسته به زمان را در اين پژوهش انجام داديم. نمودارهاي ميدان مغناطيسي، چگالي الكترون، و دما را براي گاز آرگون با اعمال توان متغير 750 وات، 950 وات، 1100 وات و 1200وات انجام داده‌ايم. در يك مطالعه مقايسه اي، اثر تغيير توان ورودي بر پارامترهاي پلاسما بررسي شد و نتايج مربوطه نشان داده شد. نشان داده شد كه با افزايش توان، چگالي الكترون و دما در محفظه كار افزايش مي يابد. در ادامه، با توان ثابت 1200 وات به عنوان يك توان بهينه شده، تأثير جابجايي موقعيت سيم پيچها و كاهش ضخامت لايه دي الكتريك بر شار ميدان مغناطيسي، چگالي الكترون و دما بررسي شد و نشان داديم كه با تغيير مكان سيم پيچها، شار ميدان مغناطيسي، چگالي الكترون و دماي راكتور تغييري نمي كند.اما با كاهش ضخامت لايه دي الكتريك شار ميدان مغناطيسي، چگالي الكترون، و دما به مقدار ناچيزي كاهش مي يابد.