اندازه‌گيري دما و بررسي گذار مد E به H در پلاسماي ICP تحت خلأ

در اين مقاله ابتدا به شرح اجمالي دستگاه ساخته شده مولد پلاسماي القايي 56.13ICP- (فركانس كاري  MHz13.56) كه شامل دو مشعل تحت خلأ و فشار اتمسفري مي‌باشد، مي‌پردازيم. سپس با تمركز بر عملكرد مشعل تحت فشار خلأ، مشخصه‌يابي دمايي پلاسما و وقوع پديده گذار از مد E به H در اثر تغيير پارامترهاي آزمايش شامل فشار اوليه و توان اعمالي بر روي پلاسما مورد بحث قرار مي‌گيرند. بر اساس اندازه‌گيري‌هاي طيف‌سنجي انجام شده براي گاز آرگون در فشارmbar  4 و به ازاي توان ورودي RF W400 دماي تحريك الكتروني پلاسما به روش ترسيم بولتزمن حدود 11636 به‌دست آمد. هم‌چنين، با استفاده از معادلات حاكم بر ميدان‌هاي الكترومغناطيس در پلاسماي ICP، تصحيحات امپدانس سيستم در اثر استتار پلاسما و هم‌چنين رابطه توان جذب شده با چگالي پلاسما و فشار زمينه به دست آمده است. بر اساس اين روابط، رفتار منحني‌هاي بار مورد تحليل قرار گرفت و بروز پديده گذار از مد E به H در اين منحني‌ها استنتاج گرديد.