بررسي تاثير ناهمواري بر خصوصيات تونل زني و آماري تانتالوم كاشت شده با استفاده از يون نيتروژن

در اين مقاله، اثر نوع يون بر خصوصيات ترابردي از ميان ساختارهايي كه فصول مشترك آنها توسط فرآيند بمباران يون بر پايه تانتالوم ايجاد گرديده، بررسي شده است. يون نيتروژن استفاده شده در فرآيند كاشت يوني با انرژي 30 كيلوالكترون ولت و در دوزهاي مختلف در دماي محيط در نظر گرفته شده اند.براي مطالعه ريخت شناسي سطوح لايه هاي نازك بمبارانه شده يوني، از آناليز ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) استفاده شده و مقدار متوسط ناهمواري تعيين شده است. نتايج نشان مي دهد كه فصول مشتركي هايي كه با بمباران يون نيتروژن توليد شده اند تاثيرات بيشتري بر خصوصيات ترابردي دارند. همچنين نسبت پيك به دره كاهش مي يابد. علاوه بر اين، با افزايش دوز يون نيتروژن، چگالي جريان به عنوان تابعي از ولتاژ كاهش يافته است هرچند اين كاهش، نتيجه مستقيمي از پراكندگي ناشي از وجود ناهمواريست اما روند اين كاهش براي دوزهاي مختلف از نظم خاصي پيروي نمي‌كند، نمونه شماره يك مفدار احتمال عبور بيشتري را نشان مي‌دهد. نتايج نشان مي‌دهند كه تعيين ميزان دوز در تعيين مقدار خصوصيات ترابردي از ميان لايه هاي نازك ناهموار نقشي مهم ايفا مي‌كند.