رفتار مكانيكي و الكتريكي ريز مبدل هاي خازني با در نظر گرفتن اثرات اندازه

امروزه به منظور مطالعه‌ي باليني در تصويربرداري اولتراسونيك، ريزمبدل‌هاي اولتراسوند خازني در بازه فركانس‌هاي بالا مورد استفاده قرار مي‌گيرند. در اين مقاله از طريق تحليل رفتار مكانيكي ريزمبدل اولتراسوند خازني، پهناي باند فركانسي و ميزان حساسيت آنها ارزيابي شده است. براي طراحي ريزمبدل اولتراسوند كه قادر به توليد تصاوير با وضوح بالا باشد، نياز به يك ساختار خازني با استفاده از تكنولوژي سيستم‌هاي ميكرو الكترومكانيكي مي‌باشد. از اين رو در اين مقاله به منظور پيش‌بيني رفتار مكانيكي اين سيستم به طور دقيق، ناپايداري پولين و پاسخ فركانسي ديافراگم با در نظر گرفتن نظريه گراديان‌هاي مرتبه بالا بررسي مي‌شود. همچنين، به منظور مطالعه‌ي جامع، فاكتورهاي الكتريكي ساختار ريزمبدل خازني از جمله ضريب تزويج الكترومكانيكي، فشار خروجي و حساسيت سيگنال دريافتي مورد مطالعه قرار مي‌گيرد. ساختار بررسي شده در اين مقاله در واقع يك روش عملي، ساده و دقيق است كه براي كاربردهاي پزشكي مورد استفاده قرار مي‌گيرد.