تحليل رفتار ديناميكي ميكروحسگرجريان پيزوالكتريكي و محدوده ي عملكرد خطي آن

در اين پژوهش ميزان خطي بودن رفتار ديناميكي ميكروحسگر جريان سيال بر اساس نظريه‌ي كوپل تنش اصلاح و تحليل شده است. معادلات ديناميكي حاكم بر سيستم شامل معادله‌ي خيز تيرپايه و لايه‌ي پيزوالكتريك بر اساس نظريه‌ي كوپل تنش اصلاح شده، معادله‌ي الكتريكي گاوس و معادله‌ي ضريب نوساني ليفت، استخراج شده است. با استفاده از معادلات استخراج شده، رفتار ديناميكي ميكروحسگر و تأثير پارامترهايي مانند ضريب ميرايي، طول تير، پارامتر مقياس طول ماده و جرم استوانه انتهاي تير بر پاسخ ديناميكي به دست آمده است. بر اساس يافته‌هاي اين پژوهش، بازه عملكردي اين ميكروحسگر در سرعت‌هاي مختلف ميكروسيال، ميزان خطي بودن اين رفتار و خطاي اندازه‌گيري سرعت، استخراج شده است. نتايج نشان مي‌دهد بيشينه خطاي خطي فرض كردن رفتار ميكروحسگر در بازه مورد بررسي ۵/۳٪ است. علاوه بر اين كاهش طول تير يا جرم انتهايي مي‌تواند سبب افزايش بازه عملكردي حسگر در سرعت‌هاي بالاتر شود.