بررسي ساختاري لايه هاي نازك CdS ساخته شده روي زيرلايه هاي با شرايط متفاوت

Structural charactrisation of CdS thin films’ grown on substrates under different conditions

لايه هاي نازك سولفيد كادميم، با استفاده از روش تبخير آني با نرخ لايه نشاني nm/s 5/2 و ضخامت تقريبي nm 800 در خلا )6-10 5 تور( ساخته شدند. در اين پژوهش، به منظور مطالعه آثار زيرلايه روي خواص ساختاري نمونه ها، از دو نوع زير لايه، شيشه و ( ITO )Indium Tin Oxide استفاده گرديد. خواص ساختاري نمونه ها توسط پراش اشعه ايكس مورد بررسي قرار گرفت. محاسبه پارامترهاي ساختاري آشكار نمود كه نمونه هاي ساخته شده روي زير لايه ITO از ساختار بلوري بهتري برخوردار است. همچنين محاسبات مربوط به نقايص بلوري و تنش در نمونه ها نشان مي دهد كه لايه هاي تهيه شده بر روي زير لايه ITO داراي كيفيت بهتري هستند. لايه هاي تهيه شده بر روي زيرلايه شيشه به مدت يك ساعت در دماهاي 200 و 300 درجه سانتيگراد تحت خلا بازپخت گرديدند تا اثر عمليات حرارتي بر روي خواص ساختاري آنها مورد بررسي قرار گيرد. طيف پراش اشعه ايكس نمونه هاي تهيه شده بر روي زيرلايه شيشه نشان داد كه خواص بلوري پس از عمليات حرارتي بهبود يافته است.

Cadmium sulfide thin films were fabricated in a vacuum (5 10-6torr) with 2.5 nm/s coating rate and the approximate thickness of 800nm. In order to study the effects of the substrate on the structural properties of samples, two types of substrates (glass and ITO) were used. Structural properties of the samples were studied by X-ray diffraction. Calculated structural parameters revealed that the samples built on ITO substrate had a better crystal structure compared to those made on glass substrate. Moreover, the calculation of stress and crystalline defects in the samples showed that the samples with ITO as substrate had better crystal quality. The CdS layers made on glass substrate were annealed at 200°C and 300°C for one hour in vacuum in order to study the effects of heat treatment on their structural properties. X-ray diffraction spectrum of samples prepared on glass substrate showed improvement of crystalline quality upon annealing.