ساخت حسگر گاز CO2/O2 با استفاده از لايه نازك اكسيد روي سنتز شده به روش سُل-ژل

Fabrication ofCO2/O2 Gas Sensorusing Zn Othin films Synthesizedvia Sol–gel method

لايه نازك اكسيد روي به روش سل- ژل روي بستر شيشه اي سنتز شد. ساختار بلوري و ريخت شناسي سطح با استفاده از تفرق سنجي اشعه ايكس (XRD) و ميكروسكوپ الكتروني روبشي(SEM) مورد مطالعه قرارگرفت. اندازه ذرات بلوري تشكيل شده روي سطح بر اساس معادله شرر (Scherrer) و نرم افزار Xʹpert Highscor محاسبه شد كه در حدود nm30 برآورد گرديد. با استفاده از پوشش سنتز شده، حسگر گازي اكسيد فلزي تهيه شد و حساسيت حسگر ساخته شده نسبت به دو گازها پركاربرد O2 و CO2 مورد ارزيابي قرار گرفت. نتايج نشان دادند كه پوشش متخلخل اكسيد روي حساسيت بالايي نسبت به اين دو گاز دارد. هم چنين، زمان پاسخ (Response time) براي گاز اكسيژن دو برابر گاز دي اكسيد كربن و در حدود 12 ثانيه بود.

Thin film of ZnO was synthesized on a glass substrate via sol-gel method. The crystal structure and surface morphology was studied, using X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). The size of crystalline particles formed on the surface were calculated using Scherrerʹs equation and the Xʹpert High score software, and was estimated around 30 nm. Using synthetic coating, metal oxide gas sensors were fabricated and the sensitivity of the sensor to the two common gases of O2 and CO2 were analyzed. The results showed that the porous coating of zinc oxide is very sensitive to the gases. Also, the response time for the two gases, were calculated. Response time for CO2 was twice of the O2, and about 12 seconds.