تهيه لايه نازك سولفيد روي دوپ شده با نقره به روش كندوپاش مغناطيسي فركانس راديويي

Preparation of Ag-doped ZnS Thin Films by RF Magnetron Sputtering

در اين تحقيق، لايه هاي نازكي از سولفيد روي دوپ شده با نقره (ZnS:Ag) با استفاده از روش كندوپاش مغناطيسي فركانس راديويي (RF) بر روي زيرلايه هاي شيشه لايه نشاني شدند. براي حصول لايه نازك بهينه، فشارهاي كاري مختلف در محدود torr 3-10×5/1 تا torr 1-10×1 مورد بررسي قرار گرفتند. لايه هاي نازك بدست آمده با استفاده از پراش پرتوي ايكس (XRD)، ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM)، ميكروسكوپ الكتروني روبشي (SEM)، طيف سنجي جذب اتمي (AAS) و آناليز ميكروپروب اشعه ايكس (XPMA) مورد شناسايي قرار گرفتند. نتايج نشان داد كه فشار كاري torr 2-10×5 بهترين پوشش را از نظر تركيب شيميايي و مورفولوژي حاصل ميكند.

In this paper, Ag-doped ZnS thin films were deposited on glass substrates using radio frequency (RF) magnetron sputtering at room temperature. In order to optimization thin films, the samples deposited at various sputtering pressures (1.5×10-3 - 1×10-2 torr). The structure and surface morphology of the films were characterized by X-ray diffraction (XRD), Atomic force microscopy (AFM) and scanning electron microscopy (SEM). Atomic absorption spectroscopy (AAS) and X-Ray microprobe analyzer (XPMA) were also employed. Findings showed that high-quality ZnS:Ag thin films with uniform morphology and chemical composition have been grown at 5×10-2 torr.