شماره ركورد :
722766
عنوان مقاله :
بررسي اثر استفاده از راديكال هاي گازي سيستم گازي آمونياك و تري كلروسيلان بر رشد و خصوصيات لايه نازك نيتريد سيليكون آمورف لايه نشاني شده به روش لايه نشاني شيميايي از فاز بخار در فشار پايين
پديد آورندگان :
سلماسي، آرمين نويسنده , , كشاورزعلمداري، اسكندر نويسنده دانشكده مهندسي معدن و متالورژي - دانشگاه صنعتي اميركبير ,
اطلاعات موجودي :
فصلنامه سال 1391
رتبه نشريه :
علمي پژوهشي
تعداد صفحه :
11
از صفحه :
53
تا صفحه :
63
كليدواژه :
راديكال آزاد گازي , تري كلروسيلان , لايه نشاني شيميايي از فاز بخار در فشار پايين , كاتاليزور پلاتين ايريديوم آلومينا , نيتريد سيليكون آمورف
سال انتشار :
1391
عنوان نشريه :
مواد پيشرفته در مهندسي
عنوان نشريه :
مواد پيشرفته در مهندسي
اطلاعات موجودي :
فصلنامه با شماره پیاپی سال 1391
كلمات كليدي :
#تست#آزمون###امتحان
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=8&DC=722766
بازگشت