• شماره ركورد
    722766
  • عنوان مقاله

    بررسي اثر استفاده از راديكال هاي گازي سيستم گازي آمونياك و تري كلروسيلان بر رشد و خصوصيات لايه نازك نيتريد سيليكون آمورف لايه نشاني شده به روش لايه نشاني شيميايي از فاز بخار در فشار پايين

  • پديد آورندگان

    سلماسي، آرمين نويسنده , , كشاورزعلمداري، اسكندر نويسنده دانشكده مهندسي معدن و متالورژي - دانشگاه صنعتي اميركبير ,

  • اطلاعات موجودي
    فصلنامه سال 1391
  • رتبه نشريه
    علمي پژوهشي
  • تعداد صفحه
    11
  • از صفحه
    53
  • تا صفحه
    63
  • كليدواژه
    راديكال آزاد گازي , تري كلروسيلان , لايه نشاني شيميايي از فاز بخار در فشار پايين , كاتاليزور پلاتين ايريديوم آلومينا , نيتريد سيليكون آمورف
  • سال انتشار
    1391
  • عنوان نشريه
    مواد پيشرفته در مهندسي
  • عنوان نشريه
    مواد پيشرفته در مهندسي
  • اطلاعات موجودي
    فصلنامه با شماره پیاپی سال 1391
  • كلمات كليدي
    #تست#آزمون###امتحان
    • لينک به اين مدرک
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=8&DC=722766