مقايسه خواص ساختاري و اپتيكي لايه هاي نازك نانويي (Sn,Ti)O2 ساخته شده به روش هاي باريكه الكتروني و سل-ژل

لايه هاي نازك TiO2-SnO2 به روش هاي باريكه الكترون و سل-ژل(غوطه وري) روي زير لايه شيشه اي لايه نشاني شدند. در روش باريكه الكترون، خلا 5-10 تور بود، در حالي كه لايه نشاني به روش سل-ژل در اتمسفر انجام پذيرفت. سپس همه لايه ها، تحت عمليات حرارتي قرار گرفتند. ساختار بلوري توسط الگوي XRD در روش باريكه الكتروني در دمايC ?400 و در روش سل-ژل در دمايC °500 تشكيل گرديد. ميانگين نانو ذرات در روش باريكه -الكتروني 20 و در روش سل- ژل 33 نانومتر تخمين زده شد. خواص اپتيكي و مورفولوژي لايه ها، توسط طيف سنجي UV/Vis/NIR و ميكروسكوپ الكتروني روبشي SEM مورد بررسي قرار گرفت. طيف عبور و گاف انرژي نيز در هر دو روش محاسبه گرديد.

TiO2-SnO2 thin films on glass substrate by electron beam and sol-gel methods were coated. In electron beam method vacuum was 10-5 torr but coating in sol-gel method was done in atmosphere. After that all films were annealed. Crystal structure by XRD pattern in method of electron beam in 400?C and the method of sol-gel in 500?C were made. Mean nano particle in electron beam method was estimated 20 nm and in sol-gel method was estimated 33 nm. The optical properties and films morphology by UV/Vis/NIR spectrophotometer and SEM were investigated. Transmission spectrum and energy band gap in both of methods were calculated.