معرفي و بررسي عملكرد تشديدگرهاي ميكرومكانيكي

امروزه با پيشرفت هاي صورت گرفته در زمينه ساخت سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي، قطعات ميكرومكانيكي كاربردهاي گسترده­تري يافته­اند. از جمله اين قطعات پركاربرد، تشديدگرهاي ميكرومكانيكي است. تشديدگرهاي ميكرومكانيكي ابعادي كوچك و فركانس­هاي تشديد بالايي دارند. امروزه از اين تشديدگرها در سيستم هاي ارتباطي بي­سيم و ناوبري، فيلترها، ميكروسكوپ اتمي، ژيروسكوپ هاي ارتعاشي، حسگرهاي جرم، فشار، كرنش، نيرو، شتاب ، دما و زيستي استفاده مي شود. با توجه به اهميت و كاربرد گسترده تشديدگرها، در اين مقاله، نخست انواع تشديدگرها، كاربردها، مزايا، نحوه عملكرد آنها در سيستم­هاي ارتعاشي، مواد سازنده و انواع روش هاي تحريك و تشخيص در آنها معرفي پس از آن پارامتر ضريب كيفيت و نحوه محاسبه آن تشريح مي شود. در ادامه انواع سازوكارهاي اتلاف انرژي، مدهاي ارتعاشي و پارامتر مقاومت حركتي در تشديدگرها توضيح داده مي­شود و در نهايت مشخصات انواع تشديدگرهاي متداول ارائه مي گردد.