تأثير اتمسفر فرآيند پخت روي خواص الكتريكي و نوري لايه نازك نانو ساختار اكسيد روي داراي آلايش آلومينيوم و تيتانيم

در اين تحقيق لايه نازك نانو ساختار اكسيد روي داراي آلايش آلومينيوم و تيتانيم (ATZO) به روش سل‌ ژل تهيه گرديد. آناليز فازي توسط تكنيك پراش پرتو ايكس (XRD)، مشاهدات ريز ساختاري و آناليز عنصري توسط ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني (FE-SEM) و ابزار طيف سنج تفكيك انرژي (EDX) انجام شده و زبري سطح با استفاده از ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) مورد بررسي قرار گرفت. نتايج XRD نشان داد كه حضور اتمسفر احيايي باعث بهبود بلورينگي لايه نازك ATZO مي گردد. همچنين مشخص شد كه استفاده از اتمسفر احيايي موجب افزايش متوسط عبور نور از % 39/86 به % 41/88 و كاهش چشمگير ميزان مقاومت ويژه الكتريكي ازΩcm 106 × 13 تا Ωcm 106 × 006/0 گرديده است. اندازه دانه لايه هاي نازك مختلف در محدوده‌ nm 23 الي nm 29 بوده و ميزان زبري سطح آنها در حدود nm 8 اندازه گيري شد. با توجه به ميزان شفافيت و مقدار مقاومت ويژه، ATZO داراي قابليت كاربرد در ترانزيستور هاي لايه نازك است.