تاثير التشويب بالنتروجين على الثوابت البصرية لاغشية SiC المحضرة بليزر TEA-CO2

تم في هذا البحث تحضير أغشية كاربيد السليكون النقية ('SiC) و المشوبة بالنتروجين ( SiC:N ) بالتفكك الضوئي لغازي السيالين (Sill4) و الاثلين (11.1:C) فضلا عن غاز الاشابة (الامونيا (NI13) ) وباستخدام ليزر ()'TEA-C . تم ترسيب الأغشية على أرضيات من الزجاج بمعدل ترسيب / nn 0.416) (pulse وسمك ((( 500 ) عند درجة حرارة (375°C) وضغط كلي للغازات (nbar (150) ،وتم تحديد الضغوط الجزئية للغازات المتفاعلة (وتحديدا غاز الأمونيا) بالعامل (X) الذي يمثل النسبة بين ضيغط غ از (13 ! PN113) (N ) و مجموع ضغوط غازات (Psi 14 + P2114 + (Sill , C21 14 , N113 ) (13 PN والذي يأخذ القيمتين (0, 0.033) . استخدم طيف النفاذية في مدى الأطوال الموجية (400-1100) !Ill لدراسة الخواص البصرية للأغشية السحضرة وبالاعتماد على تقنية (Swanepoel) ، وأظهرت النتائج المستحيلة بشكل عام زيادة نفاذية أغشية ('Sit) لجميع الأطوال الموجية عند تشويبها بالنتروجين ، واستخدم هذا المليف لحساب الثوابت البحرية دالة للطول الموجي فوجد نقصان في كل من معامل الامتصاص (0) عاملي الانكسار (11) و الخدود (1) و ثابت العزل بجزئيه الحقيقي (4:7) و الخيالي (2ع) لأغشية (SiC) عند تشو ببها بالنتروجين .و أعزي السبب في ذلك إلى نقصان المستويات الموضعية داخل فجوة الطاقة البصرية بسبب ملي الأوامر المتدلية لذرات السليكون الحرة بذرات النتروجين ( Si-N ) والهيدروجين (Si-H1 ) .