Sputtering rates and nanoscale cluster production in a hollow-cathode apparatus
Author/Authors :
A. C. Xenoulis، نويسنده , , P. Trouposkiadis، نويسنده , , C. Potiriadis، نويسنده , , C. Papastaikoudis، نويسنده , , A. A. Katsanos and A. Clouvas، نويسنده ,