Author/Authors :
M. HOPCROFT، نويسنده , , T. KRAMER، نويسنده , , G. KIM، نويسنده , , K. TAKASHIMA، نويسنده , , Y. Higo، نويسنده , , D. MOORE، نويسنده , , J. Brugger، نويسنده ,
Keywords :
SU-8 , surface profliometer , AFM cantilevers , Young’s modulus. , microscale mechanical test