Title of article :
Surface analysis of Si/W multilayer using total reflection X-ray photoelectron spectroscopy
Author/Authors :
Jun Kawai، نويسنده , , Kouichi Hayashi، نويسنده , , Hiroyuki Amano، نويسنده , , Hisataka Takenaka and Yoshinori Kitajima، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Keywords :
Grazing incidence X-rays , X-ray multilayer optics , Surface analysis , Total reflection X-rays
Journal title :
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
Journal title :
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA