Title of article
RF-power-controlled young’s modulus of plasma-polymerized organosilicon films
Author/Authors
V. CECH?، نويسنده , , A. A. GORUPPA، نويسنده , , F. R. JONES J. VANEK، نويسنده ,
Issue Information
دوهفته نامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
4
From page
5099
To page
5102
Journal title
Journal of Materials Science
Serial Year
2005
Journal title
Journal of Materials Science
Record number
830260
Link To Document