مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - DEVELOPMENT OF HIGH RESOLUTION DEPTH PROFILING OF ULTRA SHALLOW DOPANT IMPLANTS WITH SIMS

DocumentCode :

9178

Title :

DEVELOPMENT OF HIGH RESOLUTION DEPTH PROFILING OF ULTRA SHALLOW DOPANT IMPLANTS WITH SIMS

Author :

Veena Misra استاد مشاور , Dieter P. Griffis استاد مشاور , J. Michael Rigsbee استاد مشاور , Phillip E. Russell استاد راهنما

University :

Raleigh North carolina state university

Grade :

نامعلوم

Major :

PhD )Material Science and Engineering(

Number of pages :

Publish Date :

2000

Note :

Language :

انگليسي

Link To Document :