مطالعه ي عددي اثر هندسه ي بوته گرافيتي در فرآيند گرماي القايي رشد بلور چكرالسكي

Numerical study of graphite crucible geometry effect on the induction heating process of Czochralski crystal growth

در این مقاله توزیع و مقدار حجمی گرمای ایجاد شده ناشی از جریان های گردابی در شش نوع بوته ی گرافیتی حاوی مذاب ژرمانیوم با اشكال هندسی مختلف با كمك روش عناصر متناهی و بسته ی نرم افزاری Comsol Multiphysics بررسی شده است. نتایج بدست آمده نشان می دهد كه هندسه ی بوته تاثیر چشمگیری بر توزیع و مقادیر گرمای القایی تولید شده دارد.

In this paper, distribution and amount of volumetric generated heat due to eddy currents in six types of graphite crucible containing molten germanium with different geometry shapes have been investigated by finite element method (FEM) and Comsol Multiphysics software package. The obtained results show that the crucible geometry has significant effect on the distribution and amount of induced heat generated