كاشت يون دي اكسيدكربن بر روي تيتانيوم نيترايد ( TiN)

Carbon dioxide ion implantation in Titanium Nitride (TiN)

نمونه تيتانيوم را با دوزهاي مختلف يون بر سانتي متر مربع ، بوسيله نيتروژن با انرژي 30 kev كاشت مي كنيم و سپس آنها را توسط يون CO2 با همان انرژي و با دوزهاي مختلف يون بر سانتي متر مربع مورد كاشت قرار مي دهيم . براي بررسي توپوگرافي و زبري در نمونه ها بوسيله ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) از آنها تصوير گرفته شد . همچنين ساختار نمونه و فازهاي تشكيل شده توسط پراش پرتو (XRD) x بررسي گرديد . همچنين سختي نمونه بوسيله سختي سنجي ويكرز (VHN) اندازه گيري شد . نتايج نشان مي دهد كه با افزايش دوز نيتروژن ميزان تراكم اتم ها در نمونه بيشتر ، سطح زبرتر، اندازه دانه ها بزرگتر مي شود و ميزان سختي نيز تا حدي افزايش و سپس كاهش مي يابد . بعد از كاشت CO2 افزايش دوز سبب شده كه ميزان زبري سطح افزوده، اندازه دانه ها درشت تر و ميزان سختي زياد مي گردد ، كه اين افزايش سختي احتمالاً به دليل فاز هاي تشكيل شده خواهد بود .

Nitrogen ion implantation on titanium samples performed at 3×1017, 8×1017, 3×1018 doses. In addition CO2 ions were also implanted at doses in the range of 1×1017,4×1017,8×1017.Atomic Force Microscopy (AFM), used to investigate the topographical changes of implanted samples. The structure of samples and phase composition were characterized using x-ray diffraction (XRD).The results show that by increasing of nitrogen ions, the roughness, grain sizes and hardness will increase. But by further increasing of dose, hardness will be decreased. The CO2 implantation also enhance the roughness, grain size and hardness which could be caused by phase composition