ساخت و بررسي نانو سوئيچ الكترومكانيكي بر پايه نانو لوله هاي كربني خميده

Fabrication of a nano-electromechanical switch based on bent carbon nanotubes and its investigation

با استفاده از نانو لوله هاي كربني خميده سوئيچ الكترومكانيكي ساخته شده و خواص الكتريكي آن بررسي شده است. با توجه به اينكه نانو لوله هاي كربني خميده وقتي به عنوان سوئيچ در معرض ميدان الكتريكي قرار مي گيرند در نوك تيز آنها انرژي الكتريكي به طور موضعي بسيار قوي است، در اين تحقيق از نانو لوله هاي خميده به عنوان كانديدايي مناسب براي ساخت سوئيچ استفاده شده است. توليد نانو لوله هاي خميده با استفاده از روش لايه نشاني بخار شيميايي به كمك پلاسما انجام شده و در آن از ميدان الكتريكي براي خم كردن نانو لوله ها استفاده شده است. با استفاده از ليتوگرافي استاندارد الكترودهايي از نانو لوله هاي خميده الگودهي شدند. براي بررسي ساختار به دست آمده، از ميكروسكوپ الكتروني روبشي استفاده شده است.

A nano-electromechanical switch based on multiwall bent carbon nanotubes (CNTs) was fabricated and its electrical properties were investigated. High and localized electric field energy at the very tip of this bent CNT in the switch makes it an excellent candidate for fabricating the electromechanical switch. The formation of bent carbon nanotubes has been carried out using plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method. In this approach, its electric field was utilized to change the growth direction of the nanotubes. A standard photolithography was used to pattern the bent nanotube electrodes. Scanning electron microscope (SEM) was used for structural study of the as-prepared samples