بررسي خواص مكانيكي و ريزساختار پوشش‌هاي نانو ساختار تك لايهTiN و چندلايه Ti/TiN به روش پوشش‌دهي تبخير قوس كاتدي

داشتن پوشش با خواص مكانيكي عالي همواره يكي از موارد تاثيرگذار بر كارايي قطعات پوشش داده شده به‌ ويژه قطعات حساس مهندسي مي‌باشد. در اين تحقيق، به منظور بهبود خواص فولاد زنگ نزن L316 از پوشش‌هاي نانو ساختار تك لايه تيتانيم نيتريد (TiN) و چندلايه تيتانيم-تيتانيم نيتريد (Ti/TiN) استفاده شده است. به منظور مقايسه پوشش تك لايه و چندلايه، هر دو پوشش به روش رسوب فيزيكي بخار (PVD) و با استفاده از تبخير قوس كاتدي (Cathodic Arc Evaporation)انجام شد. فرآيند به مدت يك ساعت و در دماي °C200 با ولتاژ باياس 200- ولت اعمال شد .پوشش‌ها از نظر ساختار، سختي و چسبندگي با هم مقايسه شد. شناسايي فازهاي موجود در پوشش توسط روش پراش اشعه ايكس(XRD) و اندازه‌گيري سختي پوشش با استفاده از نانو سختي‌سنج و همچنين براي ارزيابي ريزساختار از ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني (FE-SEM) استفاده شده است. ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) براي به‎دست آوردن زبري سطح مورد استفاده قرار گرفت. نتايج حاكي از اين است كه سختي و زبري در پوشش چندلايه نسبت به پوشش تك لايه افزايش پيدا كرده است.