ساخت و بررسي نانوساختار فلز-عايق-فلز (آلومينيوم/آلومينا/طلا) و كاربرد آن در حسگر‌هاي رطوبتي

مواد نانوساختار، به علت ويژگي هاي ابعاديشان، پتانسيل فراواني براي كاربردهاي تكنولوژيكي دارند. اين مقاله، متمركز بر توليد نانوحفره هاي آلوميناي آندايز شده با نظم بالا به روش آندايز سخت، و سپس لايه نشاني طلا بر روي ساختار نانومتخلخل آلومينا به روش مگنترون اسپاترينگ مي باشد. روش آندايز سخت با استفاده از اسيد اكساليك 0/3مولار، در ولتاژهاي 130 ،120 ،90و 140ولت، براي توليد نانوحفره هاي آلومينا بكار گرفته شد و باتوجه به اينكه نانوحفره ها را، مي توان به عنوان قالبي براي توليد نانوساختارهايي همچون نانو سيم ها، و نانولوله هاي كربني مورد استفاده قرار داد، از اينرو نظم بالاي نانو حفره ها از اهميت خاصي برخوردار است. نظم نانوحفره هاي آلومينا، با استفاده از تصاوير ميكروسكوپ الكتروني و تصاوير FFTمورد ارزيابي قرار گرفت. نتايج نشاندهنده وجود نظم بالا در نمونه هاي آندايز شده با ولتاژ هاي 130و 140ولت بود. همچنين حسگر ساخته شده داراي افت امپدانسي قابل توجهي در درصد رطوبتي بالا بود