شماره ركورد كنفرانس :
4259
عنوان مقاله :
بررسي نانو ساختار و خواص حسگري متانول لايه هاي نازك WO3
پديدآورندگان :
اماني پرچكوهي الميرا e.amani.info@gmail.com دانشجوي دكتري، گروه فيزيك، دانشگاه آزاد اسلامي واحد تهران شمال، تهران، ايران , خجير كيخسرو استاديار، گروه فيزيك، دانشگاه آزاد اسلامي واحد تهران شمال، تهران، ايران , ذوالرياستين سوزان استاديار، گروه فيزيك، دانشگاه آزاد اسلامي واحد تهران شمال، تهران، ايران
كليدواژه :
لايه نازك , WO3 , خواص حسگري , متانول
عنوان كنفرانس :
اولين كنفرانس ملي نانو ساختارها، علوم و مهندسي نانو
چكيده فارسي :
لايه نازك WO3 با روش تبخير با باريكه الكتروني بر روي زير لايه SiO2/Si انباشت شد و سپس در دماي C ° 500 در حضور شار اكسيژن بازپخت شد. ساختار بلوري نمونه قبل و بعد از بازپخت و ريخت شناسي سطح آن به ترتيب با استفاده از آناليز پراش پرتو –x و ميكروسكوپ نيروي اتمي بررسي شد. همچنين خواص حسگري نمونه نسبت به غلظت ppm50 از گاز متانول در بازه دمايي C °260-140 مطالعه شد. بررسي ها نشان داد كه نمونه حساسيت قابل قبولي نسبت به بخار الكل متانول نشان مي دهد، در حالي كه بيشترين ميزان حساسيت در دماي عملكرد C °240 بدست آمد.
