شماره ركورد كنفرانس :
4341
عنوان مقاله :
محاسبه كامپيوتري پارامترهاي Δ وᴪ در سيستم بيضي سنجي در زير لايه هاي شفاف لايه نشاني شده با ضخامت و ضريب شكست معين
عنوان به زبان ديگر :
Computer calculation of Δ ,ᴪ of ellipsometry system for transparent substrates deposited with thin film layers with a given thicknesses and refractive index
پديدآورندگان :
درستكار آزاده dorostkar.azade@gmail.com دانشگاه آزاد اسلامي واحد تهران مركز , علي آبادي فراهاني فرزانه farahani.farzane@gmail.com دانشگاه صنعتي اروميه
كليدواژه :
بيضي سنجي , بازتاب لايه نازك
عنوان كنفرانس :
سي و سومين كنفرانس ملي فيزيك ايران 1396
چكيده فارسي :
چكيده اندازه گيري پارامترهاي لايه نازك با زيرلايه شفاف توسط سيستم بيضي سنجي با مشكلاتي همراه است و نتابج درستي ارائه نمي دهد. براي رفع اين مشكلات راه حل هاي تجربي پيشنهاد شده كه هر يك داراي نواقصي است. براي رفع اين نواقص، راهكار نويني با استفاده از يك برنامه كامپيوتري پيشنهاد شده كه براي لايه نازك با ضخامت و ضريب شكست معين، پارامترهاي Δ و ᴪ بيضي سنجي را با دقت خوبي تعيين مي نمايد. اين پژوهش در راستاي توانمند سازي روش بيضي سنجي در بررسي خواص لايه هاي نازك نشانده شده بر زير لايه هاي شفاف گام برداشته است.
