شماره ركورد كنفرانس :
4343
عنوان مقاله :
بررسي خواص ساختاري والكتريكي لايه نازكAlZnO با روش كندوپاش مگنترون
پديدآورندگان :
رحماني الهام Rahmaani.elham@gmail.com دانش آموخته كارشناسي ارشد , دانشكده فيزيك , قرآن نويس ؛ دكترمحمود استاديار,مركزتحقيقات فيزيك پلاسما واحدعلوم وتحقيقات تهران, دانشگاه آزاداسلامي , قرآن نويس دكتر زهره استاديار , دانشكده فيزيك ,دانشگاه علوم وتحقيقات تهران
كليدواژه :
DC مگنترون اسپاترينگ , AlZnO , XRD , SEM , AFM
عنوان كنفرانس :
دومين كنفرانس فيزيك نانو و فرامواد: شبيه سازي تا صنعت
چكيده فارسي :
دراين مقاله لايه نازك Al:ZnO بازيرلايه شيشه درپنج زمان مختلف باسيسيتم DC مگنترون اسپاترينگ رشد داده شده است . بابررسي تأثير زمان لايه نشاني بهينه زمان لايه نشاني Al:ZnO رابراي كاربرد در سلول هاي خورشيدي به عنوان اكسيد رساناي شفاف (TCO) موردتحقيق قرارداديم ..ضخامت لايه ها به كمك ضخامت سنج اندازه گرديد . نتايج نشان مي دهد كه باافزايش زمان لايه نشاني ضخامت لايه نيز افزايش يافته است. خواص ساختاري ومورفولوژي سطح لايه ها به وسيله آناليزهاي XRDو SEMوAFM موردبررسي قرار گرفت .درXRD قله هاي قابل مشاهده در (2 0 0)و(4 0 0) مي باشند. آناليزهاي SEM و AFM شكل گيري منظم ودايروي دانه ها برسطح لايه را با افزايش زمان لايه نشاني نشان مي دهند . محاسبه مقاومت الكتريكي لايه هاي به دست آمده نشان داد كه با افزايش زمان مقاومت ويژه لايه ها به سرعت كاهش مي يابد.
