شماره ركورد كنفرانس :
4354
عنوان مقاله :
شبيه سازي رشد نانو ساختارها با روش رونشست مايل
پديدآورندگان :
دادي گيو زهره dadi@birjandut.ac.ir گروه علوم پايه دانشگاه صنعتي بيرجند، بيرجند
كليدواژه :
نانوساختار , رونشست مايل , پوشش سطحي , اثر سايه اندازي
عنوان كنفرانس :
ششمين همايش ملي فناوري نانو از تئوري تا كاربرد
چكيده فارسي :
با استفاده از روش رونشست مايل، رشد حجمي يك لايه نازك شبيه سازي شده است. پوشش سطحي كه يكي از پارامترهاي مهم در پديده ي رشد مي باشد، مورد مطالعه قرار داده شده است.
