ساخت آرايه هاي ميكرو عدسي با استفاده از ليزر اگزايمر به روش بازشارش گرمايي

Constructing Micro-Lens Arrays, Using Eximer Laser by Thermal Reflow Method

هدف از اين كار، ساخت آرايه هاي ميكروعدسي با روش بازشارش گرمايي با استفاده از نور ليزر اگزايمر مي باشد. مراحل انجام كار شامل لايه نشا ني مس، تو ليد ماسك، لايه نشاني فوتورزيست، نوردهي فوتورزيست لايه نشاني شده به وسيله ليزر اگزايمر، قرار دادن نمونه در مايع ظهور و سپس ذوب نمونه ميباشد. ابتدا به روش تبخير حرارتي لاي هاي از مس روي زير لايه شيشه قرار گرفته است سپس طرح مورد نظر در ابعاد ميل يمتري روي لايه مسي ايجاد شده است. مرحله بعدي كا ر لايه نشاني فوتورزيست مي باشد كه به روش لايه نشاني چرخشي انجام شده است. با استفاده از ليزر اگزايمر و تصوير كردن طرح ماسك روي نمونه، طر حهاي مور د نظر روي فوتورزيست ايجاد م يشود و پس از ظهور و ذوب آرايه هاي ميكرو عدسي ايجاد مي گردد.

The purpose of this project is constructing micro-lens arrays, using Eximer laser beam, through Thermal Reflow Method. The process of this work are coating copper, Mask production, coating photoresist, lighting of photoresist layer with Eximer laser, putting sample in development and melting it. At the first, a glass substrate was coated by copper by use of Thermal Evaporation Method, then, an arbitrary plane was created on the thin layer of copper. The next stage is coating photoresist, which is done by rotary coating. By projecting of the mask on the samples and development and melting it, the micro-lens was created on the photoresist.