اندازه گيري ضخامت لايه هاي فلزي نازك با استفاده از تحريك امواج سطحي

Measuring the thickness of thin metal layers via exciting surface wave

خواص اپتيكي اغلب المانهاي اپتيكي به ضخامت پوشش فلزي اندود شده ير روي آن بستگي دارد از اينرو اندازه گيري ضخامت اين پوشش ها امري ضروري است. در اين مقاله نشان داده مي شود كه مي توان از تحريك امواج سطحي در اندازه گيري ضخامت لايه فلزي استفاده كرد. روش بكار رفته در اينجا استفاده از روش ماتريس انتقال و محاسبه طيف بازتاب داخلي كلي تضعيف شده مي باشد.

Optical properties of optical elements depend on the thickness of metal layers coated on the elements. So, the measurement of the thickness of coated layers is essential. It is show that excitation of surface waves can be used to measuring the thickness of metal layers. Here, we used the transfer matrix method to calculate the attenuated total reflection spectrum.