بررسي خواص ساختاري اپتيكي والكتريكي لايه هاي نازك اكسيد قلع آلاييده با ناخالصي اينديوم

Investigation on structural ,optical and electrical properties of indium doped tin oxide thin films prepared by spray- pyrolysis method

در اين تحقيق،خواص اپتيكي ، ساختاري و الكتريكي لايه هاي نازك اكسيد قلع آلاييده با ناخالصي اينديوم (SnO2:In) كه برروي زير لايه شيشه اي به روش اسپري پايروليزيز تهيه شده اند مورد بررسي قرارگرفته است . از بررسي طيف پراش پرتو x لايه ها ، مشاهده شد كه با افزايش ناخالصي(%0-%15) ساختار لايه به سمت بي شكل پيش مي رود . لايه ها در ناحيه مرئي عبور بسيار خوبي را (%90) نشان مي دهند . با افزايش ناخالصي ، گاف انرژي ازحدود 3/8 ev تا 3/5 ev كاهش مي يابد . تغييرات مقاومت سطحي لايه ها با افزايش درصد ناخالصي نيز، در اين تحقيق مورد مطالعه قرار گرفته است

In this study, spray pyrolysis have been employed to prepare indium doped tin oxide (SnO2:In) thin films on glass substrates. these films was analyzed with x-ray diffractometer. the films became amorph with increasing in impurity. the films showed a good transparency in visible light, too.band gap decreases from 3.8 ev to 3.5 ev with increasing in impurity.also, conductivity changes when impurity increases.