افزايش حساسيت حسگرهاي گازي In2O3 به گاز هيدروژن

Enhancement of sensitivity of In2O3 gas sensor to hydrogen gas

در اين مقاله نتايج ساخت و تعيين ويژگي هاي حسگرهاي گاز لايه نازك اكسيد اينديوم گزارش شده است . نمونه ها به روش تبخير حرارتي بر روي زيرلايه شيشه اي تهيه شدند . اثر افزودن ناخالصي هاي Sb ، Se ، Ni ، Cr ، و Cd بر حساسيت اين نمونه ها به 2000 ppm گاز هيدروژن در فشار آتمسفر مورد مطالعه قرار گرفت . ناخالصي Ni بيشترين حساسيت را ايجاد كرد . نتايج نشان داد كه به طور كلي، لايه هاي تبخيري حساسيت بالايي به گاز هيدروژن دارند.

Results of Fabrication and characterization of indium-oxide thin film gas sensors are reported in this article. Samples were prepared by thermal evaporation technique onto glass substrates. The effects of Sb, Se, Ni, Cr, and Cd impurities on sensitivity of the samples to 2000 ppm hydrogen gas at the atmospheric pressure were studied. Ni impurity produced highest sensitivity. The results indicated that the evaporated samples were generally ا highly sensitive to hydrogen gas.