شماره ركورد كنفرانس :
4746
عنوان مقاله :
انباشت كادميوم سولفيد با استفاده از دستگاه پلاسماي كانوني
پديدآورندگان :
فيروزبخت شهرزاد sh.firoozbakht@gmail.com مركز تحقيقات فيزيك پلاسما دانشگاه آزاد واحد علوم و تحقيقات تهران ؛ , حصاركي مريم sh.firoozbakht@gmail.com مركز تحقيقات فيزيك پلاسما دانشگاه آزاد واحد علوم و تحقيقات تهران؛
كليدواژه :
انباشت , كادميوم سولفيد , دستگاه پلاسماي كانوني
عنوان كنفرانس :
ششمين كنفرانس ملي مهندسي و فيزيك پلاسما
چكيده فارسي :
در اﯾﻦ ﺗﺤﻘﯿﻖ ﻻﯾﻪ ﻫﺎي ﻧﺎزك ﮐﺎدﻣﯿﻮم ﺳﻮﻟﻔﯿﺪ ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از دﺳﺘﮕﺎه ﭘﻼﺳﻤﺎي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ ﻻﯾﻪ ﻧﺸﺎﻧﯽ ﺷﺪه اﺳﺖ. دﺳﺘﮕﺎه ﭘﻼﺳﻤﺎي ﮐﺎﻧﻮﻧﯽ از ﻧﻮع ﻣﺪر و ﺑﺎ اﻧﺮژي 2 ﮐﯿﻠﻮ ژول و ﺧﺎزن 10 ﻣﯿﮑﺮوﻓﺎراد ﻣﯽ ﺑﺎﺷﺪ و ﻣﺤﻔﻈﻪ ﭘﻼﺳﻤﺎ ﺑﺎ ﮔﺎز آرﮔﻮن ﭘﺮﺷﺪه اﺳﺖ. ﻓﯿﻠﻢ ﻫﺎ ﺑﺎ ﺗﻌﺪاد ﺷﺎﺗﻬﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ (5 و15 و 25 ﺷﺎت ) و ﻓﺎﺻﻠﻪ ﻣﺘﻔﺎوت از ﺳﻄﺢ آﻧﺪ (5 و 7 و9 ﺳﺎﻧﺘﯽ ﻣﺘﺮ ) و ﺑﺎ زواﯾﺎي ﻣﺨﺘﻠﻒ (0و 30 درﺟﻪ ) ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﻣﺤﻮر آﻧﺪ ﻻﯾﻪ ﻧﺸﺎﻧﯽ ﺷﺪه اﺳﺖ. ﭘﺲ از ﺗﻬﯿﻪ ﻓﯿﻠﻢ ﻫﺎي ﻧﺎزك، ﻧﻤﻮﻧﻪ ﻫﺎ ﺑﻪ ﻣﻨﻈﻮر ﺑﺮرﺳﯽ ﺧﺼﻮﺻﯿﺎت ﻻﯾﻪ، ﺑﻮﺳﯿﻠﻪ ﭘﺮاش ﭘﺮﺗﻮ اﯾﮑﺲ، ﻣﯿﮑﺮوﺳﮑﻮپ اﻟﮑﺘﺮوﻧﯽ روﺑﺸﯽ و اﺳﭙﮑﺘﺮوﻓﺘﻮﻣﺘﺮ ﻣﻮرد ﻣﻄﺎﻟﻌﻪ ﻗﺮار ﮔﺮﻓﺘﻨﺪ .ﻧﺘﺎﯾﺞ ﺑﺪﺳﺖ آﻣﺪه در اﯾﻦ ﺗﺤﻘﯿﻖ ﻧﺸﺎن ﻣﯽ دﻫﺪ ﮐﻪ ﺗﻌﺪاد ﺷﺎﺗﻬﺎ ، ﻓﺎﺻﻠﻪ ﺑﯿﻦ زﯾﺮ ﻻﯾﻪ و ﺳﻄﺢ آﻧﺪ و ﻫﻢ ﭼﻨﯿﻦ ﻣﻮﻗﻌﯿﺖ زاوﯾﻪ اي ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﻣﺤﻮر آﻧﺪ ﻧﻘﺶ ﻣﻬﻤﯽ در ﺳﺎﺧﺘﺎر ﻻﯾﻪ ﻫﺎ دارﻧﺪ.