شماره ركورد كنفرانس :
4863
عنوان مقاله :
ساخت و اتصال ميكروكانال مخصوص براي خنك سازي ليزرهاي نيمههادي
پديدآورندگان :
حامدي محمد جواد مركز ملي علوم و فنون ليزر ايران , سراواني مسعود مركز ملي علوم و فنون ليزر ايران
كليدواژه :
ميكروكانال مسي , اتصال نفوذي , اتصال تي ال پي
عنوان كنفرانس :
پانزدهمين همايش ملي و چهارمين كنفرانس بين المللي ساخت و توليد ايران
چكيده فارسي :
ساخت و اتصال ميكروكانال مخصوص براي ليزرهاي نيمههادي با استفاده از دو روش نفوذي و تي ال پي (Transient liquid Phase) مورد مطالعه قرار گرفت. آزمايشهاي اتصالات نفوذي در دماهاي 580 الي 900 درجه سانتيگراد و فشار اعمالي 1 الي 3 مگاپاسكال برروي لايههاي مسي 500 ميكروني انجام پذيرفتند. نمونههاي اتصال يافته به روش نفوذي داراي استحكام بالايي بودند. نمونههاي اتصالي با روش تي ال پي ، با استفاده از ميكروسكوپ نوري و آناليز تفرق اشعه ايكس(XRD) در فصل مشترك اتصال بررسي شدند و تشكيل فازهاي گاما و يوتكتيك مشاهده گرديد. استحكام برشي نمونههاي باند شده بوسيله آزمايش كشش، مورد بررسي قرار گرفتند. مقادير استحكام برشي نمونههاي تي ال پي تقريباً نصف مقادير روش نفوذي بود. با در نظر گرفتن نتايج نمونههاي اتصال يافته با روشهاي نفوذي و تي ال پي، يك ميكروكانال ماشين كاري شده با موفقيت اتصال يافت و مورد آزمايش هيدروليكي قرار گرفت.