تاثير شعاع نسبي ابزار بر ماشينكاري فوق دقيق ويفر سيليكون تك كريستال

فرآيند ماشينكاري فوق دقيق، روشي پيشرفته جهت توليد سطوح با دقت و صافي سطح نانومتري مي باشد. با استفاده از اين فرآيند مي توان قطعات ترد مانند سيليكون را همانند مواد نرم ماشينكاري كرد. تحت اين شرايط براده-هاي ماشينكاري بصورت پيوسته بوده و كيفيت سطح بصورت قابل ملاحظه-اي افزايش مي يابد. در اين مقاله با استفاده از تعريف يك پارامتر جديد بنام شعاع نسبي ابزار، به بررسي مكانيزم هاي مختلف پرداخته شده است. نتايج نشان داد كه در شعاع نسبي 0.1 با عمق براده برداري 10 نانومتر، حالت شخم زني پديد آمده و با پيشروي بيشتر ابزار، دو نوع براده لوله اي و پيوسته ايجاد خواهد شد. همچنين شعاع نسبي 0.75 حد ورود ماشينكاري به حالت نرم تعيين گرديد. تصاوير ميكروسكوپ روبش الكتروني ابزار مشخص كرد كه آسيب هاي ابزار در اين فرآيند متفاوت از روش هاي سنتي ماشينكاري مي-باشد.