ساخت لايه نازك اكسيد رساناي شفاف نوع p با سختي بالا جهت استفاده به عنوان آندهاي محافظ در صفحات نمايش تخت

Fabrication of p-type transparent conducting oxide with high hardness for application as protective anode in flat panel displays

در اين تحقيق، لايه نازك اكسيد رساناي شفاف نوع p با سختي بالا كه قابليت استفاده به عنوان شيشه رساناي محافظ در صفحات نمايش را دارد، ساخته و مشخصه #38;shy;يابي مي #38;shy;شود. به همين منظور، ابتدا ماده هدف دلافوسيت CuCrO2 #38;nbsp;آلاييده با 5/2 درصد منيزيم به روش واكنش حالت جامد ساخته شده و سپس با استفاده از كندوپاش RF از آن لايه نازك بر روي زير لايه كوارتز تهيه مي #38;shy;شود. اين لايه نازك كه مي #38;shy;تواند نقش اتصال مثبت در ساختار صفحات نمايش را بازي كند، داراي شفافيت در بازه مرئي حدود 67%، رسانندگي الكتريكي برابر #38;nbsp; 5/10 زيمنس بر سانتي #38;shy;متر و سختي 950 ويكرز است.

In this research, a p-type transparent conducting oxide with high hardness is prepared. Samples have been analysed to investigate their optical and electronic properties, crystal structure and the hardness of the layer. The formed layer was revealed to have potential applications as protective conducting glass in electronic displays. For this purpose, 2.5% Mg-doped CuCrO #38;shy;2 delafossite target was prepared using solid-state reaction method. The target was then used to deposit a CuCrO2: Mg thin layer on quartz substrates using RF sputtering. The prepared thin film that can play the role of a positive electrode in displays has a transparency in the visible region of about 67%, an electrical conductivity of 10.5 Scm-1 and a mechanical hardness of about 950 Hv.