مطالعه دقت اندازه‌گيري و تعيين مشخصات زبري سطح با استفاده از روش‌هاي فوريه و جابجايي فازي

Investigation of accuracy in characterization of rough surfaces by Fourier and Phase shifting techniques

در اين مقاله با استفاده از روش #8204;هاي جابجايي فازي و تبديل فوريه، مشخصات سطوح با ناهمواري #8204;هاي مشخص تعيين شده است و خطاي اندازه #8204;گيري هر يك از روش #8204;ها تعيين و مقايسه شده است. نتايج اين مطالعه نشان مي #8204;دهند كه براي سطوح با تغييرات ناهمواري كند ، روش تبديل فوريه و براي سطوح با تغييرات ناهمواري سريع ، روش جابجايي فازي (الگوريتم هاريهاران) مناسب #8204;ترين روش است.

In this paper, the measurement error of the Phase-shifting and Fast Fourier Transform (FFT) methods are obtained for different surface samples. According to the results, for surfaces in which the roughness changes are slow, FFT method is more accurate and for other roughness surfaces Phase-shifting technique is more appropriate.