شبيه سازي ساختار با چاله سيليسيم براي افزاره اثر ميدان فلز-نيمه رسانا

براي ارائه و پيشنهاد ساختار نويني از مسفت‌ها كه بتوان در آن پارامترهاي افزاره را نسبت به ساختار پايه بهبود بخشيد روش هاي متفاوتي وجود دارد. در اين مقاله ايجاد يك چاله در ساختار اين افزاره پيشنهاد شده است. در اينجا ما براي بهبود پارامترهاي افزاره ساختار پايه را تغيير داده‌ايم و با استفاده از نرم‌افزار سيلواكو شبيه سازي را انجام داده و نتايج را بررسي كرده‌ايم. براي بهبود پارامترها در اينجا از يك ناحيه مسدود كننده در ناحيه كانال زير لبه گيت، بين گيت و درين استفاده كرده‌ايم. وجود اين ناحيه با توجه به نتايج شبيه سازي ها باعث مي‌شود ولتاژ شكست بهبود داشته‌باشد ولي سبب كاهش ميزان جريان درين مي‌شود كه نسبت به ساختار پايه كاهش قابل توجه‌اي داشته است در نتيجه ما براي جبران اين كاهش جريان از يك ناحيه فرورفتگي سيليسيم در زير ناحيه كانال و در قسمت لايه مدفون در لبه ناحيه كانال استفاده مي‌كنيم كه از قسمت سورس شروع و تقريبا تا زير گيت امتداد دارد و ميزان دقيق عمق آن هم بعد از شبيه سازي هاي متعدد به‌دست مي‌آيد