شماره ركورد كنفرانس :
5400
عنوان مقاله :
بررسي اثر تغيير ابعاد بر روي فركانس طبيعي يك ميكرو تير دو لايه با تكيهگاه ساده مورد استفاده در تجهيزات ميكروالكترومكانيكي حوزه صوت
پديدآورندگان :
داودي يكتا محمدرضا davoodimohammadreza1377@gmail.com دانشگاه علم و صنعت ايران , رهي عباس a_rahi@sbu.ac.ir دانشگاه شهيد بهشتي , طالبي توتي روح اله rtalebi@iust.ac.ir دانشگاه علم و صنعت ايران
كليدواژه :
ميكروتير , ارتعاش آزاد , فركانس طبيعي , روش ريلي پيزوالكتريك
عنوان كنفرانس :
نهمين كنگره انجمن علوم صوتي ايران
چكيده فارسي :
در اين پژوهش يك سيستم ميكروالكترو مكانيكي مورد استفاده در تجهيزات به صورت يك ميكرو تير دولايه با تكيهگاه ساده مدل شده و تأثير ابعاد بر روي فركانس طبيعي آن مورد بررسي قرار گرفته است. ميكرو تير شامل يك لايه پيزوالكتريكي از جنس كوارتز و يك زير لايه از جنس سيليكون مي باشد. براي به دست آوردن فركانس طبيعي ابتدا انرژي كرنشي و جنبشي ميكرو تير با توجه به ساختار لايه بندي شده آن به دست آمده است. در مرحله بعد يك تابع مناسب با توجه به ساده بودن تكيه گاه براي توصيف حركت عرضي انتخاب شده است به گونه اي كه شرايط مرزي را ارضا كند. با جايگذاري و استفاده از روش ريلي فركانس طبيعي سيستم بر حسب متغيرهاي سيستم از جمله طول و ضخامت لايههاي ميكرو به دست آمده است. در آخر اثر تغيير ابعاد بر روي فركانس طبيعي مورد بررسي قرار گرفته و مشخص گرديده است كه ابعاد لايه ها تاثيرات متفاوتي بر روي فركانس طبيعي داشته و از سوي ديگر اثر تغيير ضخامت لايه هاي هنگامي كه طول كم مي شود بسيار قابل توجه است.