شماره ركورد كنفرانس :
2956
عنوان مقاله :
اندازه گيري تنش باقيمانده لايه هاي نيتريد تيتانيوم رشد يافته به روش PACVD
پديدآورندگان :
محدث زهرا نويسنده , ذوالانواري عبدالعلي نويسنده , رئوفي مهدي نويسنده , شاهدي زهرا نويسنده
كليدواژه :
تشش باقيمانده , پراش پرتو ايكس , پوششهاي TiN , PACVD
عنوان كنفرانس :
سمپوزيوم نانو 93
چكيده فارسي :
در سال های اخیر، روش رسوبگذاری شیمیایی از فاز بخار با بهره گیری از پلاسما (PACVD) به عنوان روشی مساسب برای انباشت پوشش های سخت، روی ابزارهای با هسد سه پیچیده شساخته شده است. این مطالعه به بررسی چرخه كاری روی تنش باقیمانده پوشش های TiN می پردازد. برای انباشت لایه های نازكت TiN روی فولاد H13 از تركیب گازهای H2 و Ar ، N2 و باTiC استفاده شده است. تشش باقیمانده این پوشش ها با استفاده از پراش پرتو X و تعییرات چرخه كاری مورد بررسی قرار گرفت. آنالیز XRD، فارهای TiN با جهت ترجیحی (۲۰۰) را در سطح لایه ها نشان میدهد. مقدار تش باقیمانده با افزایش چرخه كاری كاهش مییابد.
شماره مدرك كنفرانس :
4461004
